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电子级超纯臭氧气体发生器

电子级超纯臭氧气体发生器
  • 电子级超纯臭氧气体发生器

  • 所属分类: 产品展示

  • 概要:
    采用高浓度、超纯净、深度精细工艺的臭氧实现技术是该发生器实现的基础。臭氧被电子工业用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生长、光刻胶去除和多种清洁应用。
    GTC发生器能够产生高浓度、大量流量、高压力的超洁净臭氧,整体模块化,结构紧凑,简洁、可视化外观。
  • 意向提交
产品描述

♦臭氧浓度高,浓度高达400mg/L;
♦臭氧输出压力高,压力高达3.0bar;
♦高气体流量;
♦采用超纯发生技术与超纯材料及工艺制造,避免、减少金属污染及析出;
♦水冷型,无氮气掺加技术;
♦获得专利的臭氧专用结构设计,确保放电均匀一致性,保证系统性能更稳定; 

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发布时间:2022-05-10 09:18:00

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