产品&技术
PRODUCT TECHNOLOGIES
-
电子级超纯臭氧气体发生器
- 所属分类: 产品展示
概要:
采用高浓度、超纯净、深度精细工艺的臭氧实现技术是该发生器实现的基础。臭氧被电子工业用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生长、光刻胶去除和多种清洁应用。
GTC发生器能够产生高浓度、大量流量、高压力的超洁净臭氧,整体模块化,结构紧凑,简洁、可视化外观。
意向提交
-
产品描述
♦臭氧浓度高,浓度高达400mg/L;
♦臭氧输出压力高,压力高达3.0bar;
♦高气体流量;
♦采用超纯发生技术与超纯材料及工艺制造,避免、减少金属污染及析出;
♦水冷型,无氮气掺加技术;
♦获得专利的臭氧专用结构设计,确保放电均匀一致性,保证系统性能更稳定;
相关产品
友情链接:青岛国林环保科技股份有限公司 | 新疆国林新材料有限公司 | 中国臭氧技术网
新闻资讯

扫码关注微信公众号
自定义
自定义
发布时间:2022-05-10 09:18:00
1
青岛国林半导体技术有限公司 版权所有 Copyright(c)2022 All Rights Reserved 鲁ICP备12021927号
青岛国林半导体技术有限公司