产品&技术
PRODUCT TECHNOLOGIES
-
电子级超纯臭氧气体发生器
- 所属分类： 产品展示
概要:
采用高浓度、超纯净、深度精细工艺的臭氧实现技术是该发生器实现的基础。臭氧被电子工业用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生长、光刻胶去除和多种清洁应用。
GTC发生器能够产生高浓度、大量流量、高压力的超洁净臭氧，整体模块化，结构紧凑，简洁、可视化外观。
意向提交
-
产品描述
♦臭氧浓度高，浓度高达400mg/L；
♦臭氧输出压力高，压力高达3.0bar；
♦高气体流量；
♦采用超纯发生技术与超纯材料及工艺制造，避免、减少金属污染及析出；
♦水冷型，无氮气掺加技术；
♦获得专利的臭氧专用结构设计，确保放电均匀一致性，保证系统性能更稳定；
相关产品
友情链接：青岛国林环保科技股份有限公司 | 新疆国林新材料有限公司 | 中国臭氧技术网
新闻资讯
扫码关注微信公众号
自定义
自定义
发布时间：2022-05-10 09:18:00
1
青岛国林半导体技术有限公司 版权所有 Copyright(c)2022 All Rights Reserved 鲁ICP备12021927号
青岛国林半导体技术有限公司