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半导体级高浓度臭氧水系统
- 所属分类： 产品展示
概要:
半导体级高浓度臭氧水系统专为半导体行业应用而开发设计，系统采用高浓度、超纯净臭氧生成与混合控制技术，选用高品质、超纯耐臭氧材料，实现为半导体行业应用提供超洁净、高浓度臭氧水。
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产品描述
♦臭氧水输出稳定，臭氧水流量2-50L/min可控、可调；
♦应用超纯高效混合与控制技术，臭氧水溶浓度实现5-100ppm；
♦臭氧浓度输出速度快，气体输出压力高， 3.0bar；
♦采用超纯发生技术与超纯材料及工艺制造，避免金属污染及析出；
♦设备具有互锁、联动保护功能，发生异常及时进行有效警示与保护。
♦设备可与外部进行通讯，实现数据传送以及进行远程控制。
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发布时间：2022-05-10 09:18:00
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