产品&技术

PRODUCT & TECHNOLOGIES

采用高浓度、超纯净、深度精细工艺的臭氧实现技术是该发生器实现的基础。臭氧被电子工业用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生长、光刻胶去除和多种清洁应用。

臭氧气体输送系统,可产生超纯、可靠的臭氧气体。在清洁的半导体环境中,借助臭氧气体反应实现原子层沉积 (ALD) 和蚀刻 (ALE) 等薄膜沉积工艺

半导体级高浓度臭氧水系统专为半导体行业应用而开发设计,系统采用高浓度、超纯净臭氧生成与混合控制技术,选用高品质、超纯耐臭氧材料,实现为半导体行业应用提供超洁净、高浓度臭氧水。

国林半导体技术

专注于研发半导体、光伏新能源、电子光电等相关领域的臭氧应用系统解决方案

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SINCE 2021

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青岛国林环保科技股份有限公司全资子公司

青岛国林半导体技术有限公司系青岛国林环保科技股份有限公司(股票代码:300786)全资子公司,专注于研发半导体、光伏新能源、电子光电等相关领域的臭氧应用系统解决方案。

28 +
国林科技成立于1994年,一直致力于臭氧产生机理研究,臭氧装备设计制造,臭氧工艺应用的专业化臭氧公司。
2021 +
公司将始终致力于不断提升中国半导体臭氧装备技术水平,为中国半导体设备国产化发展做出贡献。
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企业文化

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企业荣誉

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资质证书

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企业优势

BUSINESS ADVANTAGE

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掌握核心技术

公司掌握半导体级臭氧装备的一系列关键核心技术,拥有多项臭氧核心产品知识产权。

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引领行业发展

创立中国臭氧技术标准,不断提升国产化设备水平,推动行业持续进步。

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专业化

20余年臭氧专业应用经验、行业专家集聚,为客户提供技术零门槛服务。

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品质至尚

精细的工艺,专业的服务,为客户提供创造价值的产品。

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青岛国林半导体技术有限公司
地址:青岛市崂山区株洲路188号甲

联系人:徐洪魁

电话:13969780787 / 15753263717

邮箱:xhk@china-guolin.com

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发布时间:2022-05-10 09:18:00

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