DI-NH3氨水输送系统

概要：
DI-NH3氨水设备是一款应用在半导体工业领域，提供超纯氨水的小型独立系统。采用气液混合的方式，将高纯氨气和超纯水混合，可以对外持续供给电子级氨水，流量可定制。系统采用闭环控制技术，满足不同用量工况下氨水浓度稳定。

产品描述：
DI-NH3氨水设备结构紧凑，外观简洁、可通过集成触摸屏面板进行就地操作，也可通过计算机通讯接口进行远程控制。
♦响应速度快，调整时间短；
♦控制精度高，氨水浓度稳定，电导率控制范围5-40us/cm；
♦氨水出水压力恒定，输出压力区间可调；
♦通过质量流量控制系统实现精确地氨气剂量投加；
♦采用超纯超纯材料及工艺制造，避免、减少金属污染及析出；
♦集成度高，易于安装和操作；
♦自学习功能，快速适用多种工况。