臭氧水杀菌系统

概要：
臭氧水杀菌系统专为电子行业杀菌、清洗应用而开发设计，系统采用半导体级臭氧气体发生器以及纳米气泡混合技术，对工艺水进行杀菌处理，可有效去除Wet湿制程机台内所有细菌，延长PM洗管周期，提高产能降低费用以及保障良率。

产品描述：
♦ 臭氧水输出稳定，水流量可控、可调，流量范围可实现50-200L/min不同规格的输出；
♦ 应用洁净高效混合与控制技术，臭氧水溶浓度实现0.1-10ppm，系统可配置臭氧水浓度检测装置；
♦ 设备具有节能模式，实现高低浓度切换，本地远程操作以及模块化设计
♦ 设备具有互锁、联动保护功能，发生异常及时进行有效警示与保护；
♦ 设备可与外部进行RS485通讯，实现数据传送以及进行远程控制。