电子级超纯臭氧气体发生器

采用高浓度、超纯净、深度精细工艺的臭氧实现技术是该发生器实现的基础。臭氧被电子工业用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生长、光刻胶去除和多种清洁应用。

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SINCE 2021

     青岛国林半导体技术有限公司是一家专注半导体行业臭氧发生器和臭氧水机及应用系统设计、制造、安装、调试、运行及维护的专业化公司。
     国林半导体是青岛国林科技集团股份有限公司（股票代码：300786）控股子公司，基于国林科技集团在臭氧机理研究的技术优势和技术沉淀，开发出半导体行业专用的高浓度、高纯度、高可靠性的臭氧发生器和高浓度臭氧水机，能够为半导体、光伏、面板等行业提供系统设备。
      公司将紧跟半导体行业的需求，不断创新和提升半导体臭氧装备技术水平，以客户需求为导向，提供臭氧应用系统解决方案，为半导体设备国产化发展做出贡献。