系列产品

SERIES PRODUCTS

采用高浓度、超纯净、深度精细工艺的臭氧实现技术是该发生器实现的基础。臭氧被电子工业用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生长、光刻胶去除和多种清洁应用。

臭氧气体输送系统,可产生超纯、可靠的臭氧气体。在清洁的半导体环境中,借助臭氧气体反应实现原子层沉积 (ALD) 和蚀刻 (ALE) 等薄膜沉积工艺

半导体级高浓度臭氧水系统专为半导体行业应用而开发设计,系统采用高浓度、超纯净臭氧生成与混合控制技术,选用高品质、超纯耐臭氧材料,实现为半导体行业应用提供超洁净、高浓度臭氧水。

国林半导体技术

专注于研发半导体、光伏、面板显示等相关领域的臭氧应用系统

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SINCE 2021

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青岛国林科技集团股份有限公司控股子公司

     青岛国林半导体技术有限公司是一家专注半导体行业臭氧发生器和臭氧水机及应用系统设计、制造、安装、调试、运行及维护的专业化公司。
     国林半导体是青岛国林科技集团股份有限公司(股票代码:300786)控股子公司,基于国林科技集团在臭氧机理研究的技术优势和技术沉淀,开发出半导体行业专用的高浓度、高纯度、高可靠性的臭氧发生器和高浓度臭氧水机,能够为半导体、光伏、面板等行业提供系统设备。
      公司将紧跟半导体行业的需求,不断创新和提升半导体臭氧装备技术水平,以客户需求为导向,提供臭氧应用系统解决方案,为半导体设备国产化发展做出贡献。

28 +
国林科技成立于1994年,一直致力于臭氧产生机理研究,臭氧装备设计制造,臭氧工艺应用的专业化臭氧公司。
2021 +
公司将始终致力于不断提升中国半导体臭氧装备技术水平,为中国半导体设备国产化发展做出贡献。
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企业文化

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企业荣誉

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资质证书

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企业优势

BUSINESS ADVANTAGE

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掌握核心技术

专业沉淀30年,公司拥有臭氧装备全部关键核心技术,拥有臭氧产品全部自主知识产权。

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自主、专业化

全部自主研发与制造,拥有丰富的臭氧产生、装备制造以及臭氧工艺应用相关经验。

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全产业链供应

提供臭氧相关全产业链核心零部件与臭氧相关装备,可根据客户需求进行定制化设计,满足不同客户对臭氧设备的需求。

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引领行业发展

创立中国臭氧技术标准,不断提升国产化设备水平,推动行业持续进步。

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青岛国林半导体技术有限公司
地址:青岛市崂山区株洲路188号甲

销售服务热线:0532-81878807

邮箱:xhk@china-guolin.com

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发布时间:2022-05-10 09:18:00

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