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DI-NH3氨水输送系统

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产品展示

概要:

DI-NH3氨水设备是一款应用在半导体工业领域,提供超纯氨水的小型独立系统。采用气液混合的方式,将高纯氨气和超纯水混合,可以对外持续供给电子级氨水,流量可定制。系统采用闭环控制技术,满足不同用量工况下氨水浓度稳定。

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产品描述

概要:
DI-NH3氨水设备是一款应用在半导体工业领域,提供超纯氨水的小型独立系统。采用气液混合的方式,将高纯氨气和超纯水混合,可以对外持续供给电子级氨水,流量可定制。系统采用闭环控制技术,满足不同用量工况下氨水浓度稳定。

产品描述:
DI-NH3氨水设备结构紧凑,外观简洁、可通过集成触摸屏面板进行就地操作,也可通过计算机通讯接口进行远程控制。
♦响应速度快,调整时间短;
♦控制精度高,氨水浓度稳定,电导率控制范围5-40us/cm;
♦氨水出水压力恒定,输出压力区间可调;
♦通过质量流量控制系统实现精确地氨气剂量投加;
♦采用超纯超纯材料及工艺制造,避免、减少金属污染及析出;
♦集成度高,易于安装和操作;
♦自学习功能,快速适用多种工况。

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