半导体级高浓度臭氧水系统_青岛国林半导体技术有限公司

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半导体级高浓度臭氧水系统

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半导体级高浓度臭氧水系统
所属分类：产品展示

概要:
半导体级高浓度臭氧水系统专为半导体行业应用而开发设计，系统采用高浓度、超纯净臭氧生成与混合控制技术，选用高品质、超纯耐臭氧材料，实现为半导体行业应用提供超洁净、高浓度臭氧水。

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产品描述

概要：
半导体级高浓度臭氧水系统专为半导体行业应用而开发设计，系统采用高浓度、超纯净臭氧生成与混合控制技术，选用高品质、超纯耐臭氧材料，实现为半导体行业应用提供超洁净、高浓度臭氧水。

产品描述：
♦ 臭氧水输出稳定，臭氧水流量可控、可调，流量范围可实现2-140L/min不同规格的输出；
♦ 应用超纯高效混合与控制技术，臭氧水溶浓度实现5-100ppm，内置臭氧水浓度检测装置；
♦ 臭氧浓度输出响应速度快，输出臭氧水压力高2.5bar（配置增压泵可满足3.5bar以上输出）；
♦ 采用超纯发生技术与超纯材料及工艺制造，避免金属污染及析出；
♦ 设备具有互锁、联动保护功能，发生异常及时进行有效警示与保护；
♦ 设备可与外部进行RS485通讯，实现数据传送以及进行远程控制。

规格型号	CFBW-DTCT/SN系列		CFBW-DTCT/SNE系列
臭氧水流量L/min	2-20	20-60	60-140
臭氧水浓度ppm	20-130	30-70	30-60
氧气气量L/min	2-5	5-20	10-40
气源/O₂	6级氧气	6级氧气	6级氧气
掺杂气/CO₂	5级/100ppm	5级/100ppm	5级/100ppm
冷却水水温度℃	15-17	15-17	15-17
冷却水过滤um	20-100	20-100	20-100
冷却水流量L/min	4-8(取决于配置）	10-20(取决于配置）	20-40(取决于配置）
电压V（可选）	208VAC（±5%）3P/ 220VAC（±5%）1P	208VAC（±5%）3P	208VAC（±5%）3P
输出臭氧水压力bar	2.5（≥3.0可选配）	2.5（≥3.0可选配）	2.5（≥3.0可选配）