臭氧气体输送系统

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概要：

臭氧气体输送系统采用高浓度、超纯净的臭氧生成技术，拥有精准的臭氧浓度检测、流量、压力控制和稳定的电源以及安全防护等功能。该系统是一种自由组合的、可高度集成的模块化臭氧系统，可以配备多组DTCT/SN系列发生器形成多通道系统，具有独立输出及控制功能，满足不同臭氧气体应用需求。

产品描述

♦臭氧响应速度快，臭氧浓度高，浓度高达400g/Nm³以上；

♦ 单通道可满足高气体流量3-80slm；

♦ 采用超纯发生技术与超纯材料及工艺制造，避免、减少金属污染及析出；

♦ 水冷型，可选型氮气掺加技术；

♦ 内部集成流量、压力，臭氧检测等各类相关仪表（可选）；

♦ 输出通道数量1-4可选，具有独立输出及控制功能。

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青岛国林半导体技术有限公司

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