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《半导体级臭氧发生器技术要求》团体标准正式发布实施
2025年12月9日，由国林半导体主持编制的国内半导体行业首个《半导体级臭氧发生器技术要求》团体标准（T/CIET 1946-2025）正式发布实施。该标准制定促进行业规范发展，推动技术创新与产业链协同，为半导体、面板显示行业臭氧设备选型与应用提供科学的量化依据。
一、填补国内半导体行业臭氧标准空白，助力半导体关键设备规范化
随着全球半导体产业的快速发展，关键工艺设备的标准化与国产化需求日益凸显。臭氧发生器作为半导体制造中不可或缺的工艺设备，在薄膜沉积、清洗、去胶等关键环节发挥着重要作用，其技术性能与可靠性直接影响芯片制造的良率。
长期以来，我国在半导体级臭氧发生器领域缺乏统一的技术标准，制约了行业规范化发展与自主创新。为此，国林半导体充分发挥技术领先优势，牵头启动了《半导体级臭氧发生器技术要求》团体标准的编制工作，通过构建完善的技术指标体系和可靠性规范，填补了国内相关领域标准空白。
二、凝聚产业力量，携手助推标准落地
2025年度内，由国林半导体公司作为主要牵头单位，联合中国国际经济促进会标准化工作委员会及北京北方华创微电子装备有限公司、华海清科股份有限公司、拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司、北京电控集成电路制造有限公司、上海陛通半导体能源科技股份有限公司、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司、盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司、盛美半导体设备（上海）股份有限公司、杭州星源驰半导体有限公司、江苏亚电科技股份有限公司、上海至纯系统集成有限公司、浙江启尔机电技术有限公司、上海正帆科技股份有限公司、天津奥尔斯曼新能源科技有限公司、山东志伟环保科技有限公司共计17家单位，涵盖半导体关键零部件、装备以及终端用户等众多知名企业，共同对标准进行编制、研讨与评审，确保了标准的科学性、适用性与行业代表性。
2025年3月5日，标准工作获批立项；
2025年3月-8月，标准起草编制与意见征集；
2025年8月27日，《半导体级臭氧发生器技术要求》团体标准评审；
2025年9月19日《半导体级臭氧发生器技术要求》团体标准完成批报；
2025年12月9日《半导体级臭氧发生器技术要求》团体标准正式发布实施；
三、以标准引领发展，助力半导体臭氧装备国产化发展
未来，青岛国林半导体将继续依托自身技术研发实力与产业化经验，积极参与半导体关键设备标准体系建设，推动国产高端装备的标准化。公司将以该标准实施为契机，持续优化产品性能，为全球半导体产业提供更可靠、高效的国产化解决方案，助力我国半导体臭氧装备高质量发展。
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