半导体级臭氧发生器标准启动暨评审大会圆满召开

2025年8月27日，以“共商、共议、共建”为宗旨，以“相遇、相识、相知”为主题的 “半导体级臭氧发生器标准”启动暨评审大会在青岛隆重召开并取得了圆满成果。

本次大会聚焦半导体级臭氧发生器技术在行业中的应用与需求深入讨论，针对臭氧发生器技术现状与未来发展进行回顾与展望，旨在启动“半导体级臭氧发生器标准”的制定以及评审工作，旨在推动行业技术创新、明确技术标准，规范市场秩序、提升产品质量与国际竞争力。

本次“半导体级臭氧发生器标准”工作由“中国国际经济技术合作促进会”

提出，由青岛国林半导体技术有限公司牵头，协同产业链上下游相关领域头部企业共同制定，本次受邀参加的其余企业如下：北方华创微电子装备有限公司、华海清科股份有限公司、拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司、北京电控集成电路制造有限公司、上海陛通半导体能源科技股份有限公司、北方集成电路技术创新中心、盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司、盛美半导体设备（上海）股份有限公司、杭州星源驰半导体有限公司、江苏亚电科技股份有限公司、上海至纯系统集成有限公司、浙江启尔机电技术有限公司、上海正帆科技股份有限公司、天津奥尔斯曼新能源科技有限公司、山东志伟环保科技有限公司共计16家单位，涵盖臭氧、薄膜、湿法清洗、CMP等装备以及终端fab厂、PFA关键零部件等众多知名企业。

会议当天上午10:00时，部分嘉宾早早来到了国林半导体公司，提前深入企业车间了解臭氧发生器制造全过程，充分进行了技术研发、制造以及应用交流。13:00-14:00参会嘉宾陆续签到，大家相互认识并热烈交流互动。

会议由青岛国林半导体技术有限公司总经理徐洪魁主持，由中国国际经济技术合作促进会国标委员会主任冀云致欢迎辞。二位表示，标准是行业高质量发展的重要技术基础，作为深耕臭氧技术多年的企业，在协会的大力支持下，国林半导体有责任，也有能力携手各方共同构建一个技术领先、安全可靠、适应产业未来发展需求的标准体系。此次标准的制定，将聚焦半导体级臭氧发生器（涵盖面板显示）的性能、安全、能效、环保及智能化等关键指标，力求体现行业当下满足需求的技术水平和未来发展方向。

受国林半导体主办方的特别邀请，中国国际经济促进会标准化工作委员会副主任晨萌进行了“国促会介绍及团体标准发展历程”主题分享；欢芯鼓伍创始人罗仕洲博士进行“国内半导体制造产业分析及液态工艺技术现况与未来”主题分享，青岛国林半导体技术有限公司总经理徐洪魁进行“国产化臭氧技术发展”主题分享，三位的报告分别从标准的由来、产业的发展以及臭氧技术的现状进行深入浅出的精彩分享，使参会嘉宾更能充分地理解标准启动暨评审会的追根溯源，为标准的充分评审夯实专业基础。

会议期间，参编标准上午与会嘉宾、专家等听取徐洪魁总经理的标准起草汇报，对提交的标准文件进行了详细的审查及各种方式讨论，参编各单位一致认可标准文件的总体编写质量，部分条款细节也进行了推敲沟通。此次标准的评审，标志着半导体级臭氧发生器行业标准化工作迈入了崭新的阶段，国林半导体将积极协同各参与单位，加速推进标准的后续制定、报批与推广实施工作，为我国半导体臭氧配套设备的国产化研制与应用注入新动能。

标准文件评审后，应会前部分嘉宾的参观要求，国林半导体组织嘉宾进行国林半导体公司洁净车间制造场景的参观，分别参观“千级臭氧气体发生器生产与测试车间”“万/千级功能水（含臭氧水）生产与测试车间”，由总经理徐洪魁亲自为嘉宾讲解臭氧发生器以及关键零部件制造的全过程，讲述公司生产洁净管控工作的模式与产能规划，与会嘉宾在了解中不断询问着各类问题，大家在一片欢笑声中对于未来国产化的发展也充满了更多的期待，参观后大家集体合影留念。

结束语：

本次标准大会的成功举办，不仅开启了半导体行业国产化臭氧发生器技术标准的新篇章，还为半导体（含面板显示）领域的科研、工艺、装备等人员提供一个充分的臭氧技术交流平台，进一步促进了行业内深入融合与协同效应，为应对当前国际竞争背景下国产化臭氧技术的应用与挑战提供了重要的实践基础。相信在行业同仁的共同努力与支持下，国产化臭氧技术的发展未来可期！