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臭氧水分解器采用UVC紫外光照射的方式将水中溶解的臭氧转化为氧气。主要用于半导体制造过程或液晶基板制造过程中,当所使用的的含臭氧水做废液处理时,将溶解在臭氧水中的臭氧分解后无害化排放。
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