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DI-NH3氨水输送系统
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DI-NH3氨水设备是一款应用在半导体工业领域，提供超纯氨水的小型独立系统。采用气液混合的方式，将高纯氨气和超纯水混合，可以对外持续供给电子级氨水，流量可定制。系统采用闭环控制技术，满足不同用量工况下氨水浓度稳定。
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